金屬混合靶與準(zhǔn)分子激光氣相沉積技術(shù)
正在ICF實(shí)驗(yàn)中,混合膜、多層膜是基礎(chǔ)、基準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)用靶的一種重要靶型。薄膜的研究也成為ICF靶研究的重要領(lǐng)域,高質(zhì)量的薄膜有利于物理診斷的研究。長期以來,發(fā)展了多種制膜技術(shù)和方法,如蒸發(fā)、離子束濺射、磁控濺射、分子束外延(MBE)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)、溶膠-凝膠法等。近年來,隨著高功率脈沖激光技術(shù)的發(fā)展而產(chǎn)生的脈沖激光制膜技術(shù)(PLD),在制備多元素化合物膜等方面顯示了獨(dú)特的優(yōu)越性。



在準(zhǔn)分子激光器全球的醫(yī)1療、半導(dǎo)體、光纖、平板顯示、材料研究等高1端行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用,但作為專業(yè)的準(zhǔn)分子激光氣體的重要廠商,我們同時也發(fā)現(xiàn)在準(zhǔn)分子激光器的使用上,還存在著一些隱憂,準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠,筆者想通過這篇文章,以引起相關(guān)操作人員的重視。
準(zhǔn)分子激光氣體的主要成分:
氟化ya(ArF) 193 nm :F2、Ar、He、Ne;
氟化ke(KrF) 248 nm :F2、Ar、He、Ne;
氯化氙(XeCl)308 nm :HCl、H2、Xe、Ne
氟化氙(XeF) 351 nm:F2、Xe、He、Ne
顯而易見,準(zhǔn)分子激光氣體成份中,Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體,準(zhǔn)分子預(yù)混氣銷售,除非大量釋放到密閉空間會引起窒息外,對人體的危害是有限的,排除惰性稀有氣體的危害主要的做法還是通風(fēng),增強(qiáng)室內(nèi)空氣的對流。



準(zhǔn)分子激光由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體,合肥準(zhǔn)分子預(yù)混氣,產(chǎn)生的準(zhǔn)分子激光波長為172nm。
1975年包括美國政府的海1軍研究實(shí)驗(yàn)室、諾思羅普研究和技術(shù)中心,Avco Everett研究實(shí)驗(yàn)室,和美國桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室在內(nèi)的多家政府研究機(jī)構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。
1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺商業(yè)用準(zhǔn)分子激光器。
迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準(zhǔn)分子激光的氣體有10多種。



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